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晶圓單片式清洗機(jī)
單片式清洗機(jī)是由幾個清洗腔體組成，再通過機(jī)械手將每一片晶圓送至各個腔體中進(jìn)行單獨(dú)的噴淋式清洗，清洗效果較好，避免了交叉污染和前批次污染后批次，具有極高的工藝環(huán)境控制能力與微粒去除能力，有效解決晶圓之間交叉污染的問題。 可定制2/4/6/8/12/16腔室，單腔室處理速度可達(dá)到35片/小時，根據(jù)客戶需求定制適用于8寸/12寸硅片清洗，內(nèi)... MORE +
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全自動RCA清洗設(shè)備
設(shè)備主體、電氣控制系統(tǒng)、化學(xué)工藝槽、純水清洗槽，機(jī)械手控制系統(tǒng)，循環(huán)過濾系統(tǒng)，管路及排風(fēng)系統(tǒng)等；并提供與廠務(wù)供電、供氣、供水、排廢水、排氣系統(tǒng)配套的接口等。 MORE +
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全自動槽式清洗機(jī)
全自動槽式清洗機(jī)廣泛應(yīng)用于集成電路領(lǐng)域、先進(jìn)封裝領(lǐng)域里的清洗、刻蝕后、光刻膠去除等工藝。與傳統(tǒng)的清洗設(shè)備相比自動化程度更高，可用于4寸、6寸、8寸、12寸硅片清洗。還可以選配兆聲波系統(tǒng)、管路防靜電等配置。設(shè)備可以提供在異常情況下對硅片的獨(dú)特保護(hù)（SPS系統(tǒng)）?？商峁┒鄠€槽體或單片進(jìn)行化學(xué)藥液或純水，結(jié)合噴淋、溢流、... MORE +
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